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英文名称：Octafluorocyclobutane
纯度等级：5N
包装规格：47L钢瓶

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主要应用：半导体晶圆制造的蚀刻工艺

高纯八氟环丁烷在半导体制造中是一种关键的高性能电子特气，主要用于等离子体蚀刻和设备清洗工艺，其优异的化学稳定性和选择性使其在先进制程中具有不可替代的作用。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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