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半导体晶圆制造

高纯氟化氢（HF）

高纯氟化氢（HF）

英文名称：Hydrogen Fluoride
纯度等级：5N
包装规格：40L钢瓶
业务咨询
销售电话：0570-3687736 / 0570-3091321
邮箱：sales@grandit.com.cn
详细介绍
主要应用：半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯氟化氢在半导体制造中在硅基材料的干法蚀刻、碳化硅功率器件的表面处理和氮化镓器件的制备及CVD反应腔的维护清洗等特殊工艺中具有应用。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。
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